Motory s přímým pohonem v displejových aplikacích | výrobce Tecnotion
Zvýšení přesnosti a preciznosti pomocí vakuových lineárních motorů.
Výroba displejů vyžaduje stroj, který dokáže pohybovat velkými hmotnostmi, a to pravidelně ve vakuovém prostředí, aby se zabránilo kontaminaci displeje. To vyžaduje jeden nebo více motorů s velkým silovým výkonem, zejména když vakuum omezuje výkon.
Displeje procházejí mnoha úpravami, jako je litografie, leptání, vrtání, čištění, kontrola a opravy. V závislosti na požadavcích aplikace se k polohování používají lineární motory bez železného jádra nebo s železným jádrem. Některé kroky ošetření probíhají ve vakuovém prostředí. Pro tyto kroky jsou nejvhodnější vakuové lineární motory. K dosažení požadované síly a pohybu velkých hmotností lze spojit více lineárních motorů.
Lineární motory pro vakuum
Díky jedinečné konstrukci vakuových lineárních motorů Tecnotion a výrobě v čistých prostorách mají vakuové motory minimální zplodiny a optimální čistotu. Všechny vakuové motory splňují vlastnosti, které jsou nezbytné pro výrobu displejů. Kombinace vakuových motorů s vysoce kvalitním enkodérem s vakuovou certifikací zajišťuje, že lze dosáhnout přesnosti v submikrometrovém rozsahu.
Výhody
vysoká přesnost v kritických procesech
vysoká přesnost / opakovatelnost
flexibilní silový výstup
optimalizováno pro vakuové prostředí
všestranné možnosti motorů
řešení na míru
Umístění mimo budovu
Pro některé aplikace je užitečné použít vakuové magnetické desky se železným jádrem v kombinaci se standardním motorem se železným jádrem, aby se lépe pohybovaly. V tomto případě je motor umístěn vně vakua a magnetické desky uvnitř vakua. Vzduchová mezera mezi nimi bude větší než obvykle, což bude mít za následek určitou ztrátu síly. Motor se železným jádrem mimo vakuum však stále dokáže vyvinout větší sílu než motor bez železného jádra ve vakuu. Motor s železným jádrem má také lepší možnosti chlazení mimo prostředí vakua.
Vakuový dopravní systém
U mnoha procesů nanášení, odpařování a naprašování, jako je CVD, PVD a ALD, které se používají také při výrobě displejů, je nutný transport nebo pohyb uvnitř vakua. Tyto výrobní linky se skládají z různých procesních komor, ve kterých probíhají depoziční procesy. To vyžaduje transportní systémy ve vakuu, které mohou být vytvořeny lineárními motory v konfiguraci s pohyblivými magnety.
V rámci společnosti nabízíme konzultace pro vaše aplikace nad rámec úrovně motorů, protože integrace takových systémů musí být úzce sladěna s požadavky. Kromě požadavků na pohyb je třeba vzít v úvahu i environmentální a tepelné podmínky, kdy je prostor pro části motoru omezen fyzikálními omezeními vakuových komor.
Odkazy
Pro více informací nás neváhejte kontaktovat Tato e-mailová adresa je chráněna před spamboty. Pro její zobrazení musíte mít povolen Javascript.
Společnost MN - systems, s.r.o. je autorizovaným partnerem Tecnotion - direct drive in motion pro Českou republiku a Slovensko.