Lineární motory / pro vakuum

Lineární motory pro VAKUUM mají vakuově lité motory se speciálně navrženými cívkovými jednotkami a magnetickými drahami pro použití ve vakuu (až 10^-8mbar) . Tyto motory mají stejné výhody jako motory bez železného jádra, ale navíc nabízí nejnižší možný stupeň odplynění u sériového produktu tohoto typu.

Řízení teploty je jednou z hlavních výzev ve vakuu. Proto byly cívkové jednotky navrženy tak, aby dosáhly nízkého tepelného odporu (Rth), který umožňuje cívkové jednotce rychle odvádět teplo z cívky. Integrované teplotní a vypínací senzory zaručují vždy tepelnou ochranu.

Výhody lineárních motorů pro vakuum jsou optimální pro aplikace, které vyžadují vysokou čistotu, žádné cizí částice, definované nízké odplynění ...

Průmyslová odvětví, kde tyto lineární motory naleznou své uplatnění jsou: polovodičová technika, inspekční stroje, litografie, aplikace elektronového paprsku ...