UMV série

Základní popis

Cívky UMV jsou nejmenší cívky v řadě vakuových lineárních motorů. Tato řada je ideální pro umístění např. v portálech nebo vysoce dynamických a lehkých aplikacích, které vyžadují extrémní přesnost.

Sektory použití

• Polovodičová technika
• Inspekční zařízení
• Výroba plochých panelů
• Litografie
• Elektronové mikroskopy