ULV série

Základní popis

Cívky ULV jsou špičkové cívky v řadě vakuových lineárních motorů. Řada ULV se běžně používá pro aplikace vyžadující špičkovou sílu nebo nízký tepelný výkon. Při delších zdvizích lze cívky ULV kombinovat, aby se ušetřil magnetický materiál, ale přesto dosáhlo vysokého výkonu.

Sektory použití

• Polovodičová technika
• Inspekční zařízení
• Výroba plochých panelů
• Litografie
• Elektronové mikroskopy